来源 :上证e互动2022-08-22
至纯科技(603690)请问公司的湿法设备是否应用于第三代化合物半导体如碳化硅SiC等领域？是否已形成有效订单？
您好，公司湿法设备可覆盖晶圆制造各个工艺，可应用于第三代化合物半导体SIC碳化硅。截至目前国内几大头部碳化硅产品制造的客户已向公司订购SIC碳化硅相关湿法设备近40台。