至纯科技：公司布局的湿法设备均为自主研发及生产

　　至纯科技(603690)近期有新闻提到韩国半导体设备审查更严格，还涉及到一项和清洗设备有关的三星员工的诉讼，请问对公司有什么影响吗？公司的湿法设备技术来源是哪里？

　　您好，韩国设备审查严格及诉讼的事项公司也关注到了，非常明确的是，公司布局的湿法设备均为自主研发及生产，设备及部件均有公司自主的专利，公司未实施过收购境外技术的事项。公司湿法设备技术选择的是日系技术路线，技术均为该路线下达到同样工艺需求的自主研发。截至2021年末，公司研发人员240人，占比达16.32%；公司研发费用比上年同期增长51.18%。截至2022年3月末，公司湿法设备已申请专利200项，其中发明专利128项。公司自研的清洗设备，结合公司20多年对于超高纯工艺流体的技术能力，具有独特的设计理念和结构，并获得国内下游核心客户的认可。