来源 :上证e互动2022-04-25
至纯科技(603690)贵公司隔壁18腔已量产，但看不到至纯任何具体先进技术方面的进展情况，蒋总能否在可以的情况下说一下，另外请问今年投入研发的规划预算与去年比大概提高多少？,希望不要用官话搪塞，谢谢！
您好，我们主要的技术路线是高温硫酸清洗技术，硫酸回收技术，二流体清洗技术等，针对先进技术研发部分，适用于先进制程工艺几项专用技术也在开发中，预计今年会陆续进行验证。针对清洗设备的效率方面，需要看设备的整体设计，包括传输系统、机械臂设计等，目前我们公司的设备效率是对标全球一线大厂，并且在下游客户中也获得广泛的认可。