来源 :上证e互动2021-11-22
至纯科技(603690)柴总。您好。日前盛美上海上市，请问公司的半导体设备与盛美上海半导体设备相比，技术方面有哪些优势，谢谢。
您好，公司致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际湿法设备厂商路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本以及对晶圆基底的损伤。公司的湿法设备历经IP自主、供应链自主研发，在国内湿法设备制造基地制造，正有序开展供应链的本地化。