来源 :化工新材料2023-12-08
12月6日，彤程新材在投资者互动平台表示，公司Arf光刻胶预计明年上半年完成验证并出货。
此前，化工新材料曾报道，彤程新材于11月5日公告公司全资子公司上海彤程电子材料有限公司（彤程电子）在上海化学工业区投资建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨/年相关配套试剂项目的工程阶段已竣工，目前已逐步进入试生产阶段。
年产300/400吨ArF及KrF光刻胶产线
彤程电子上海化学工业区工厂占地36200平方米，设计能力年产1千吨半导体光刻胶、1万吨显示用光刻胶和2万吨高纯EBR试剂（光刻胶去边剂）。同时在国际国内半导体厂商及光刻胶厂商战略合作推动下，完成了产线优化及品控升级。
半导体光刻胶方面，彤程电子的年产300/400吨ArF及KrF光刻胶量产产线，通过采用超高纯PFA（涂层）设备、引入高精度物料流量控制系统、配以自研的高精度高效率光刻过滤系统，可以实现ppt级金属杂质及0.1um级别的颗粒管控，具备不同配方先进制程光刻胶的生产能力。
对此，有业内人士表示，年产300/400吨ArF及KrF光刻胶的产能算比较大了，彤程新材半导体光刻胶品类也较多，此次扩产产能可同时供应国内大部分芯片制造商，能较好地满足国内先进制程光刻胶的部分需求。
产品预计半年内通过验证
在上个月光刻胶项目竣工的公告中，彤程新材透露，在ArF光刻胶产品方面，目前处于量产前的光刻工艺测试及产品验证阶段，能否验证通过尚存在一定的不确定性，但结合此次公开表态一事来看，ArF光刻胶产品通过验证将指日可待。
据悉，彤程新材已经完成ArF光刻胶部分型号的开发，首批ArF光刻胶的各项出货指标能对标国际光刻胶大厂产品，已具备量产能力。
此前，彤程新材在2023年半年报中披露，报告期内公司继续加大在半导体光刻胶方面的研发投入，新增研发立项48项，包括14个KrF光刻胶项目，26个I线光刻胶项目，8个新材料项目。新产品销售收入占比达到半导体光刻胶业务收入总额的41.36%。今年上半年，KrF光刻胶依然保持着较快的增速达到52.56%；I线光刻胶方面，ICA光刻胶开始放量，增长率达到96.82%。
在G线、I线及KrF光刻胶产品方面：
彤程新材G线光刻胶已经占据国内较大的市场份额；
I线光刻胶已广泛应用于国内6英寸、8英寸、12英寸集成电路产线，支持的工艺制程涵盖14nm及以上工艺。
KrF光刻胶量产品种达20种以上，稳定供应国内头部芯片制造商。