来源 :上证e互动2026-02-12
盛剑科技(603324)尊敬的董秘您好，贵司在半导体洁净室方面有哪些亮点成就，谢谢！
尊敬的投资者，您好！公司提供的工艺废气治理系统部分主体为洁净室集成工程的重要组成部分，与洁净室系统工程密切相关。公司半导体客户的大部分生产线整体位于洁净厂房中，公司的工艺废气治理系统解决方案综合应用了中央治理和源头控制技术，以定制化的中央治理系统为核心，根据不同客户的产品工艺流程、废气成分、空间布局等因素，定制化设计治理方案、设备选型、控制系统、排放布局等，以实现中央治理系统与客户工艺设备的深度整合，并安全稳定地自动化运行。感谢您的关注！