来源 :上证e互动2026-05-26
赛腾股份(603283)你好,贵司多款LDI设备,是否可以满足实现±0.5μm的成像精度和±1.5μm的对位精度,新产品是否达到此类精度? 尊敬的投资者您好,感谢您对公司的关注!公司LDI系列设备根据下游不同应用场景进行了多品类布局与迭代升级,始终围绕客户工艺需求持续优化成像、对位等核心性能指标。您提及的相关精度指标属于产品技术细节,目前尚未对外披露。公司产品性能可充分匹配主流市场需求,谢谢!