福斯达：公司在氮气纯度品质方面已做到0.1PPMO2，正在研究国产化Ppb级电子级氮气

　　福斯达(603173)请问公司的设备，是否可用于生产光刻机芯片制造用的氖气、氦气？谢谢

　　尊敬的投资者，您好！公司主要产品为空气分离设备、液化天然气装置、绕管式换热器、化工冷箱和液体贮槽等深冷装备。其中，公司化工冷箱类型的产品包括甲烷分离冷箱、乙烯冷箱、丙烷脱氢冷箱、CO-H2分离冷箱、液氮洗冷箱、轻烃回收设备、氦气提纯及液化设备、氢气提纯及液化设备、二氧化碳提纯及液化设备等。公司在氧气纯度品质方面已开发出70-90%的富氧流程、99.6%纯氧流程、99.9999%的电子氧流程，在氮气纯度品质方面已做到0.1PPMO2，正在研究国产化Ppb级电子级氮气，在稀有气体制取方面He\Ne\Kr\Xe粗制和精制技术已逐步掌握。感谢您对公司的关注！