来源 :上证e互动2023-09-18
圣晖集成(603163)请问光刻机运行环境需要提供洁净室服务吗？
尊敬的投资者，您好！光刻机运行环境需要提供洁净室服务。因光刻机是非常精密的设备，对温度，湿度，微振动，粉尘颗粒等有严格的要求，需要在高阶无尘室运行。谢谢您的关注！