来源 :上证e互动2025-09-25
热威股份(603075)董秘，您好！最近国产的光刻机发展迅速，请问公司的半导体设备领域加热元件是否适用于光刻机的温控方面?
尊敬的投资者您好，电热元件在半导体制程上的应用非常广泛，公司已与半导体领域一些头部企业展开合作。在光刻机温控领域暂时未有应用，感谢您的关注。