来源 :金融界2023-11-28
金融界2023年11月28日消息，据国家知识产权局公告，隆基绿能科技股份有限公司取得一项名为“一种单晶炉真空系统及晶体直拉生长设备”，授权公告号CN220099268U，申请日期为2023年4月。
专利摘要显示，本申请提供了一种单晶炉真空系统及晶体直拉生长设备，其中，单晶炉真空系统包括排气管组、过滤装置及真空泵装置；所述排气管组的一端与单晶炉的炉底连通；所述排气管组的另一端与所述过滤装置的进气口连通；所述真空泵装置与所述过滤装置的出气口通过真空管道连通；所述真空泵装置包括多个真空泵，所述多个真空泵通过真空管道串联或并联。本申请将多个真空泵通过真空管道串联或并联方式组成真空泵装置，可以在不改变真空泵性能的情况下，提升真空泵装置的抽真空性能，实现低炉压效果，有效降低晶棒的电阻率衰减速率。