来源 :证券时报网2023-03-08
证券时报e公司讯，据必联网发布的中标结果公告显示，3月7日，万业企业旗下嘉芯迦能的掺杂硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备（SACVD）以及钛/氮化钛沉积设备（MOCVD）中标特色工艺生产线建设招标项目。据资料显示，自2022下半年开始，万业企业旗下嘉芯半导体多次中标多款设备，包含快速热处理（RTP）、氮化硅等离子刻蚀机等。