来源 :上证e互动2021-06-29
万业企业(600641)董秘你好，凯世通超越7nm技术的离子注入机，"超越7nm"是指离子注入机可用于7nm以及更高阶制程的芯片生产吗？是否可以同时满足逻辑芯片和存储芯片的晶圆制造？
尊敬的投资者您好，万业企业旗下凯世通超越7nm技术的离子注入平台目前应用于逻辑芯片制程。感谢您对万业企业的关注！