来源 :上证e互动2023-09-15
华微电子(600360)据公司官网介绍，贵司于2021年4月6日获得发明专利授权“传片系统及光刻机”，请问该专利具体应用于光刻机什么部件？是否属于国产替代突破？
尊敬的投资者您好，该发明专利主要应用于光刻机的传片系统。光刻机是公司生产制造中必不可少的关键设备，我司相关发明专利是围绕光刻机在公司生产制造过程中的使用过程，而并非光刻机的研发制造。公司一直致力于自主研发和创新，未来公司将继续加大研发投入，推动更多自主创新技术的研发和应用，为提升国内半导体产业的整体竞争力做出更多的贡献。感谢您的关注！