来源 :深交所互动易2026-03-17
irm1326466问珂玛科技(301611)请问玛珂科技公司主要生产碳化硅高纯陶瓷产品，适用于石墨托盘、聚焦环、喷淋头等半导体设备环节吗？谢谢
2026-03-11 16:27:49
珂玛科技答irm1326466
尊敬的投资者您好！公司目前生产多种碳化硅材质的产品，包括半导体设备用超高纯碳化硅炉管、晶舟套件；碳化硅刻蚀环、喷淋头；外延碳化硅涂层石墨基座等。感谢您的关注！
2026-03-17 20:45:33