来源 :深交所互动易2026-03-02
irm1635272问丰茂股份(301459)尊敬的董秘您好！贵司EPS精密传动技术在纳米级定位、高速扫描与超低振动控制方面已达国际先进水平，该技术是否具备应用于光刻机工件台/掩模台核心精密传动环节的潜力？公司是否正布局相关领域，以助力我国高端半导体装备自主可控，实现利民、利企、利国的产业升级目标？谢谢回复！祝您生活愉快！
2026-02-26 05:07:41
丰茂股份答irm1635272
尊敬的投资者，您好！公司和吉林大学合作突破的EPS带传动系统未应用于光刻机领域。感谢您的关注！
2026-03-02 20:45:33