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汇成真空(301392)内幕信息消息披露
 
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(深互动)汇成真空:TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术,支持HiPIMS、多阴极同步镀膜及自动化工艺控制

http://www.chaguwang.cn  2026-06-17  汇成真空内幕信息

来源 :深交所互动易2026-06-17

  irm1349411问汇成真空(301392)汇成真空的TGV专用HiPIMS深孔溅射设备专门针对玻璃微孔高深径比金属化,高功率脉冲HiPIMS路线,适配50–300μm超薄玻璃,深径比稳定15:1,孔内壁镀膜均匀性±3%,适配 G1-G5大尺寸玻璃基板,HBM玻璃中间层,CPO光模块;是国内唯一能够供货TGV深孔镀膜的公司。请问老师,上述对贵司TGV高端镀膜设备有没有客观描述,公司有这类设备出售或者订单需求? 2026-06-16 01:33:10 汇成真空答irm1349411 尊敬的投资者,您好。公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术,射频、直流、HiPIMS高功率脉冲磁控溅射、脉冲偏压等模块化组合,自动升降传输基材,支持多个阴极同时溅射,镀制多层膜,自动处理工艺并记录数据,有关经营情况可关注公司定期报告,感谢您的提问。 2026-06-17 11:30:04

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