来源 :格隆汇2023-05-10
5月10日富乐德(301297.SZ)于2023年5月9日下午15:00-17:00召开2022年度网上业绩说明会,就“用于物理沉积设备清洗技术目前研发进度?预计何时量产?”,公司表示,公司是国内最早实现半导体PVD洗净工艺量产服务的企业之一。国内半导体洗净再生技术大多停留在28纳米以上制程,28纳米以下洗净再生技术大多被日韩和欧美国家垄断;公司28/14纳米制程PVD部件洗净再生工艺的开发技术较为先进,目前已经掌握了成熟的28/14纳米制程PVD部件清洗再生技术,成功打破了日韩和欧美国家技术垄断。