来源 :深交所互动易2024-10-21
cninfo882209问英诺激光(301021)领导您好，公司的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目与光刻机光源有关系吗，能不能运用到光刻机，谢谢。
2024-10-15 16:25:35
英诺激光答cninfo882209
尊敬的投资者，您好！在半导体领域，大能量、高重频超快激光是支撑 EUV 光源预脉冲的核心技术。感谢您的关注！
2024-10-21 16:10:51