来源 :FPCworld2023-09-01
日前，“红光奖”（"Secret Light Awards"，简称SLA）第六届激光行业创新贡献奖颁奖典礼在深圳举办。
“红光奖”是中国激光行业创新贡献奖组委会、激光制造网联合业界权威专家及国内多家激光行业协会、激光学会、激光产业联盟共同打造的激光行业全产业链顶级大奖。
英诺激光凭借“超快深紫外皮秒激光器 AMT-266-3W-70MHZ”经过为期2个月的初选、网络评审、专家评审多个环节，最终获得众多网友及专家评委的认可，荣获超快激光器创新贡献奖，继2021年第四届激光行业创新贡献奖再次获此殊荣。
"红光奖"超快激光器获奖合照
此次公司申报参与奖项评选的“超快深紫外皮秒激光器 AMT-266-3W-70MHZ”是国内首先推出工业化的高重频、高功率深紫外固体激光器，拥有衍射极限的光束质量，极窄的光谱线宽，长期稳定可靠，核心指标（光束质量M平方因子、光谱线宽、单点和整机寿命）达到国际同行（美国Coherent、日本Oxide）领先水平，是成熟的工业级产品。目前通过国内行业关键客户的性能测试和单点1000hrs 寿命测试，达到28nm以及更先进制程的晶圆缺陷检测设备的需求，实现小批量生产。
高重频、高功率深紫外超快激光器是晶圆缺陷检测装备的核心部件，长期被国外垄断，并且面临被卡脖子风险。英诺激光率先打破国外在深紫外激光领域的垄断，实现国产替代，解决“卡脖子”问题，推动我国半导体和集成电路产业的升级，助力提升国家高端制造能力。
深紫外超快AMT系列激光器
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