来源 :深交所互动易2023-08-07
irm35250764问英诺激光(301021)2021年公司中期报告中表述，对晶圆选区剥离方面已完成技术论证。有望大幅简化传统工艺中曝光，显影，蚀刻，清洗等复杂制程，降低光刻胶用量和光刻清洗环境污染。两年来，公司持续该项专利技术研发，取得了哪些研发进展或研发成果！
2023-08-05 17:27:56
英诺激光答irm35250764
尊敬的投资者，您好！该业务尚处于研发阶段，后续情况请关注公司公告，感谢您的关注！
2023-08-07 13:58:14