来源 :同飞股份2025-06-23
在半导体加工制造领域，随着芯片制造工艺的日益精细化，对加工设备的冷却系统提出了更高的要求。研磨、划切、减薄等工序是半导体制造中不可或缺的环节，而高效的冷却技术在这其中发挥着关键作用。同飞股份全新一代双通道水冷却机应运而生，以卓越的性能和创新的设计，为半导体行业带来冷却解决方案的全新选择。
高集成双路供水
优化空间布局
同飞股份的双通道水冷却机采用双路供水系统，分别提供主轴冷却水以及磨划冷却水。这种设计不仅实现了冷却功能的精准分配，更在设备的集成度上达到新高度。与传统冷却设备相比，该设备在节约空间方面表现出色，占地面积显著减小，为半导体生产车间节省宝贵空间，便于设备布局和生产流程的优化。
冷却精度±0.1℃
保障加工质量与主轴稳定性
在半导体减薄工序中，加工精度和主轴稳定性至关重要。同飞股份的双通道水冷却机在两个关键冷却部位均实现了±0.1℃的控制精度。对于磨划冷却水，运用DI水开式循环控制，能够精确地带走研磨、划切过程中产生的热量，确保加工表面的质量达到更高水准，满足半导体制造对表面粗糙度和精度的严苛要求。在主轴冷却方面，同样以±0.1℃的控制精度，有效抑制主轴因高速运转而产生的热变形，保证主轴的加工精度和稳定性，从而提高生产效率和产品质量，减少因热变形导致的加工误差和设备故障风险。
无铜离子设计与高精过滤可选
提升设备可靠性
冷却水侧过流部件采用无铜离子设计，避免了铜离子对半导体加工过程的潜在污染风险，确保生产环境的纯净度，符合半导体制造对高纯度材料的严格标准。此外，设备还可选装高精度过滤器，进一步提升水质纯净度，防止杂质对冷却系统和加工设备的损害，延长设备使用寿命，降低维护成本，确保设备长期稳定运行。
助力半导体产业升级
同飞股份与您共创未来
同飞股份始终致力于为半导体加工制造提供优质的冷却解决方案。这款全新一代双通道水冷却机，不仅仅是对同飞股份现有产品的全面优化升级，更是对半导体行业冷却技术的一次创新与突破。通过在减薄工序段的应用，它将助力半导体企业提升生产效率、降低生产成本、提高产品质量，从而在激烈的市场竞争中占据优势地位。
在未来的发展中，同飞股份将继续秉持创新驱动的理念，不断研发和推出更先进的冷却技术和产品，致力于提供半导体加工全场景温控解决方案，与广大半导体企业携手共进，共同推动半导体产业的升级与发展，为全球半导体制造技术的进步贡献同飞力量。
三河同飞制冷股份有限公司（股票代码：300990）深交所A股上市公司，是国内专业的工业温控解决方案服务商，公司致力于为半导体、数控装备、储能、电力电子、数据中心、氢能、新能源汽车（充换电）、医疗器械等领域提供专业温控产品，并不断拓宽产业化发展之路。