来源 :同飞股份2025-01-20
近日，同飞股份成功研制并推出了首台专为半导体制造匀胶显影工序段量身打造的恒温恒湿工业空调，该设备已顺利下线并投入使用。作为国内较早进入工业温控行业的综合解决方案服务商，我们深刻理解半导体制造过程中的严苛要求，旨在为半导体制造的高精密工艺提供坚实的温控保障，这款高性能工业空调的问世离不开公司技术团队的不懈努力与反复验证。
半导体制造中的匀胶显影工序对环境温湿度条件极为苛刻，任何微小的波动都可能对产品的良品率造成影响。为此，我们的恒温恒湿工业空调采用了前沿的控制技术和高精度的传感器，通过PID控制策略，实现了±0.1℃的温度控制精度和±0.5%RH的湿度控制精度，确保匀胶显影工序在良好的温湿度环境中进行，从而大幅提升产品的质量和生产一致性。
该产品的温湿度控制范围广泛，覆盖18～26℃的温度区间和40～55%RH的湿度区间。同时，产品集成了变频风机、液位传感器、漏液传感器等先进功能，通过直观的人机界面，用户可轻松实现风量调节、温湿度曲线可视化、液位监控等操作。此外，产品还配备了TCP/IP通信功能，使得设备管理更加灵活智能，助力用户实现设备的精细化管理，进一步提升生产效率。
考虑到半导体制造设备需长时间连续运行的特性，我们的恒温恒湿工业空调在设计与制造上均采用了高品质的材料和先进的工艺。例如，电气回路采用了安全继电器，确保设备运行的可靠性；设备内部的风道回路则选用SUS316材质，有效避免尘埃粒子的产生，保障生产环境的洁净度。