英杰电气(300820.SZ)：半导体设备端的电源替代目前主要是在刻蚀机和PECVD设备上

　　英杰电气(300820.SZ)在投资者互动平台表示，公司半导体设备端的电源替代目前主要是在刻蚀机和PECVD设备上，还有其他一些设备以及制程的运用。