来源 :深交所互动易2025-06-27
irm1347477问国林科技(300786)公司的半导体臭氧设备能进行12英寸晶圆的臭氧清洗吗？公司是否已经在12英寸晶圆厂进行产品设备验证工作？
2025-06-20 21:37:47
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。臭氧气体习惯也算是特气的一种，公司通过十几年臭氧系统设备制造及运行服务经验积累，掌握了臭氧发生技术的核心技术。感谢您的关注。
2025-06-27 16:36:10