来源 :深交所互动易2025-06-20
irm1347477问国林科技(300786)公司您好，日本明电舍公司Meidensha推出400ppm高浓度臭氧水装置已用于5nm芯片的制造过程，这被业内证明400pp高浓度臭氧水是5nm芯片制造的技术门槛要求。公司是否已经研发成功400ppm的高浓度臭氧水半导体设备？如果是，那么从技术门槛上，也符合国产5nm芯片的制造要求对吗？
2025-06-17 12:19:59
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。公司可提供150mg/L浓度级臭氧水发生器、400mg/L浓度级臭氧气体发生器、+-0.1us/cm高精度氨水发生器、5%高精度二氧化碳水发生器以及各类型臭氧检测仪表与配套的臭氧分解装置等关键性系列产品，可应用于半导体行业各品类的先进＆前沿制程中。感谢您的关注。
2025-06-20 17:06:40