来源 :深交所互动易2025-06-13
irm1347477问国林科技(300786)据研究报告，CO2二氧化碳清洗用于精密结构清洗，通常作用于如EUV光刻机的掩模版，去除纳米颗粒。公司是否有研发CO2二氧化碳清洗设备？是否可以作用于euv光刻掩膜板清洗？
2025-06-11 13:26:59
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。公司正在积极研发相关设备，目前处于研发阶段，详情请关注公司定期报告。感谢您的关注。
2025-06-13 16:51:40