来源 :深交所互动易2025-05-06
irm1347477问国林科技(300786)随着半导体行业的不断发展，特别是极紫外（EUV）光刻技术的广泛应用，对于高精度、高稳定性的工艺控制要求也越来越高。在半导体生产过程中，臭氧浓度检测仪成为了一个至关重要的设备，用于确保工艺的稳定性和产品的质量。日本荏原ebara公司作为一家在半导体设备领域具有丰富经验和技术实力的企业，其臭氧浓度检测仪在半导体制程EUV工艺中的应用备受关注。请问公司研发的臭氧浓度检测仪能否对标实现上述功效？
2025-04-28 11:43:32
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。公司现有臭氧气体浓度检测仪和臭氧水溶浓度检测仪两种产品。臭氧气体浓度检测仪主要应用于测量半导体晶片制造、水处理和臭氧研究等过程中产生的气态臭氧浓度，也可用作全流量过程传感器或用作监测从过程流中转移的小流量气体的传感器，测量范围0-400mg/L；臭氧水溶浓度检测仪可应用于超纯水系统、制药业、半导体湿法清洗及其他工业处理领域。感谢您的关注。
2025-05-06 15:00:12