来源 :深交所互动易2024-11-28
irm1899034问国林科技(300786)美国限制全环绕栅极GAA：全环绕栅极GAA尖端芯片技术，先进芯片架构。GAA工艺核心在于多次光刻、刻蚀、沉积:核心步骤通过原子层沉积（ALD）技术完成！!公司沉积清洗设备是否可以用在GAA工艺上？
2024-11-23 14:36:26
国林科技答irm1899034
尊敬的投资者，您好。公司薄膜沉积和臭氧清洗设备可以应用于GAA工艺，目前半导体清洗方面的业务占公司主营业务收入比重较小。感谢您的关注。感谢您的关注。
2024-11-28 11:30:11