卓胜微申请一种炉管合金工艺专利，提高了产品的可靠性及质量

　　2024年3月11日消息，据国家知识产权局公告，江苏卓胜微电子股份有限公司申请一项名为“一种炉管合金工艺“，公开号CN117672828A，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本发明涉及半导体工艺技术领域，具体公开了一种炉管合金工艺，包括以下步骤：对炉管的温度模式进行切换，以使炉管处于混合控温模式；将装载有晶圆的晶舟移动至炉管内，再对炉管的温度模式进行切换，以使炉管处于单独控温模式；对炉管内的晶舟进行静置处理，以使晶圆温度稳定；对炉管的内部进行抽真空处理。本发明中混合控温模式下的炉管能够快速对温度进行变化反应，使晶圆在移动至炉管的时间段内得到快速升温以方便后续更快的达到设定值，而将炉管的温度模式切换为单独控温模式后，能够使得晶圆的温度更加精确地升到设定值，且结合对晶舟进行静置处理，避免了后续抽真空处理时晶圆发生震动而产生颗粒，以此提高了产品的可靠性及质量。