来源 :中国电子专用设备工业协会2026-05-29
产品描述
近日，深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司（简称：捷佳伟创）首次将微纳米气泡水清洗工艺应用于半导体/先进封装清洗装备，成功出货至海外，为高端器件精细化清洗提供全新解决方案。该装备以微纳米气泡水为核心介质，无需化学试剂，环保高效；可适配TSV、微细电极等精密工艺，实现AR=10:1高纵横比TSV产品清洗，28nm级微小颗粒去除率超99%。未来，公司将深耕先进清洗领域，推动技术向绿色化、精细化发展，赋能全球半导体产业升级。
（来自：
捷佳伟创
）
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