来源 :深交所互动易2025-03-12
irm1249921问中石科技(300684)ASML光刻机的光源系统（如EUV激光等离子发生器）需在极端温度下保持稳定性，公司的高导热相变材料（如导热凝胶）或电磁屏蔽涂料是否已通过国内光刻机厂商（如上海微电子）的测试？若未参与，是否因材料纯度（如金属离子杂质含量）未达到半导体设备级标准？
2025-03-02 15:58:08
中石科技答irm1249921
尊敬的投资者您好，公司的高导热相变材料或电磁屏蔽涂料尚未应用于光刻机领域。感谢您的关注！
2025-03-12 20:45:12