来源 :金融界2023-12-27
金融界2023年12月27日消息，据国家知识产权局公告，宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种铝硅靶材及其制备方法“，公开号CN117286466A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本发明提供了一种铝硅靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：将铝硅靶坯进行锻压，所述锻压包括分别在X、Y和Z方向依次进行的墩粗和拔长，得到锻后靶坯；将锻后靶坯依次进行第一热处理、轧制和第二热处理。本发明提供的制备方法优化了靶材内部晶粒组织，制备的靶材晶粒细小均匀，将其平均晶粒尺寸控制在95μm以下，且晶粒尺寸变化范围在25μm之内；将靶材用于溅射镀膜时可提高溅射速率和成膜均匀性及致密性。