精测电子等公布“一种自动对焦系统、自动对焦方法及表面缺陷检测方法”专利

　　近日，武汉精测电子集团股份有限公司,武汉加特林光学仪器有限公司,苏州精濑光电有限公司申请的“一种自动对焦系统、自动对焦方法及表面缺陷检测方法”专利公布。摘要显示，本发明提供一种自动对焦系统、自动对焦方法及表面缺陷检测方法，控制光源阵列中的多个光源按照预设时序逐个点亮，每个光源发出的光束被待测器件表面的对应待测子区域反射，反射光的一部分被离焦信息采集单元检测为离焦检测光斑，反射光的另一部分在主检相机上形成检测图像。由于离焦检测光斑与显微物镜的位置具有映射关系，通过该映射关系可得到离焦检测光斑对应的离焦信息，从而实现对显微物镜的自动对焦。按照光源的点亮次序依次对各个待测子区域进行自动对焦、成像，可提升图像检测精度，降低光路硬件要求，还可通过离焦信息得到待测器件表面的高度信息，有利于对具有复杂三维形貌特征的物品进行表面缺陷检测，提升了检测的灵活性与精度。