来源 :深交所互动易2026-03-10
cninfo758460问赛微电子(300456)MEMS是Micro-Electro-MechanicalSystem的缩写，中文名称是微机电系统，是将微电子电路技术与微机械系统融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米尺度内。此外还有纳米机电系统（ NEMS ），是一类在更微小的纳米尺度上集成电气和机械功能的设备，NEMS技术目前在量产和商业化上仍存在一些挑战。请问公司具备不具备NEMS能力？
2026-02-27 14:15:40
赛微电子答cninfo758460
您好，MEMS和NEMS均是机械结构与电子电路集成于芯片的交叉技术，经常被统称为微纳加工，NEMS是纳米级，MEMS是微米级，NEMS 是 MEMS 技术向纳米尺度的延伸与升级；从商业化程度而言，MEMS 已实现大规模商业化，但NEMS 尚处于前沿探索与医疗等少部分领域商用阶段。公司专注于MEMS工艺开发及晶圆制造，在商业需求支持的情况下可以向NEMS延伸演进，谢谢关注！
2026-03-10 11:30:03