来源 :金融界2023-12-11
金融界2023年12月11日消息，据国家知识产权局公告，无锡先导智能装备股份有限公司取得一项名为“一种生产铜箔的设备“，授权公告号CN220149651U，申请日期为2023年5月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种生产铜箔的设备，包括真空腔体、磁控溅射装置、第一蒸镀装置、第二蒸镀装置和输送装置，真空腔体包括第一腔室、第二腔室和第三腔室，第一腔室和第三腔室均与第二腔室连通，磁控溅射装置包括设于第一腔室的第一镀铜磁控靶材和第二镀铜磁控靶材，第一镀铜磁控靶材和第二镀铜磁控靶材分别用于在基膜的两面形成铜箔，第一蒸镀装置设于第二腔室，第二蒸镀装置设于第三腔室，第一蒸镀装置和第二蒸镀装置分别用于增加基膜的两面的铜箔的厚度，输送装置设于真空腔体，输送装置用于输送基膜，以使基膜依次经过第一镀铜磁控靶材、第一蒸镀装置、第二镀铜磁控靶材和第二蒸镀装置。采用本实用新型的生产铜箔的设备，能源消耗较小，生产成本较低。