先导智能取得真空系统及蒸镀设备专利，真空系统的能源消耗较小

　　金融界2023年12月11日消息，据国家知识产权局公告，无锡先导智能装备股份有限公司取得一项名为“一种真空系统及蒸镀设备“，授权公告号CN220149639U，申请日期为2023年5月。

　　专利摘要显示，本实用新型涉及真空系统技术领域，公开了一种真空系统及蒸镀设备，真空系统包括罗茨泵组、机械泵组、扩散泵组以及维持泵组，罗茨泵组连通于蒸镀设备的第一腔体和第二腔体，机械泵组连通于罗茨泵组，扩散泵组连通于罗茨泵组和第一腔体，维持泵组连通于扩散泵组和罗茨泵组之间，维持泵组用于在扩散泵组启动前，使维持泵组和扩散泵组之间的压强达到扩散泵组进行预热时所需的安全压强。采用本实用新型的真空系统，利用维持泵组使得扩散泵组之间的压强达到扩散泵组进行预热所需的安全压强，扩散泵组预热时扩散泵组的前级泵组无需持续工作，真空系统的能源消耗较小。