来源 :深交所互动易2025-09-12
cninfo944872问正业科技(300410)请问公司的仪器设备是否有用于半导体衬底材料碳化硅（SiC）的检测？谢谢！
2025-09-08 14:28:31
正业科技答cninfo944872
尊敬的投资者，您好，半导体衬底材料碳化硅（SiC）常用的亚表面缺陷检测技术包括光致发光（PL）和X射线形貌（XRT）、光学相干断层扫描（OCT）和拉曼光谱（Raman）等，我司当前未涉及相关产品。感谢您的关注。
2025-09-12 16:38:10