来源 :爱集微2024-05-14
近日，菲利华在接受机构调研中就“高端石英材料领域的创新和市场布局”相关问询回应称，截至2023年末，公司已有12个高性能复合材料产品项目研发成功，各项指标均满足要求，通过了相关试验的考核，得到了用户的认可和高度评价。
据介绍，在石英玻璃材料及制品板块，公司研发成功了高纯电熔不透明石英、黑石英、低羟基和少羟基合成石英玻璃，成为先进半导体制程中的关键材料；开发了环保型无氯合成石英玻璃，成为深紫外光学应用的优选材料；开发出了超低膨胀系数石英玻璃，并实现了零膨点温度区域可控，为空间探测、极紫外光刻光学系统提供了材料支撑。
推出国内首创10.5代TFT-LCD光掩膜基板，公司子公司合肥光微光电科技有限公司光掩模基板精密加工项目建成投产，填补光掩模版精加工领域的国内空白，有效完善国内光掩模版行业的产业链。
子公司济南光微半导体科技有限公司投资建设高端电子专用材料精密加工项目，推动我国高端电子行业关键材料的自主可控，对逐步实现进口替代具有重要意义。
在石英玻璃纤维和复合材料板块，公司成功研制出了高精石英布、掺杂改性耐高温石英纤维，耐温性和强度大幅提升；推出超细石英纤维、超薄石英布、高空心度空心石英纤维织物，为轻量化迈出重要一步；持续研发2.5D/3D立体编织物等多个高性能纤维产品，为国家多项重点项目提供配套材料。
其同时介绍，公司的半导体用气熔石英玻璃材料通过了日本东京电子株式会社（TEL）、泛林研发（Lam Research）、应用材料公司（AMAT）三大国际半导体原厂设备商以及日立高新技术公司的认证，子公司上海石创的石英玻璃制品通过国内主流半导体设备厂商的认证。