来源 :界面新闻2023-09-05
南大光电9月5日在投资者互动平台表示，ArF光刻胶根据验证阶段分为 PRS（光刻胶性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）及 Release（通过验证）。目前公司已有两款胶通过验证，多款胶正在验证中。