来源 :和讯网2023-05-30
5月30日有投资者在投资者互动平台向南大光电(300346)(300346.SZ)提问，“能不能讲述一下光刻胶验证的四个阶段，目前28nm光刻胶进入哪个阶段了？”
公司回复称，通常，光刻胶验证根据验证阶段分为PRS(光刻胶性能测试)、STR(小试)、MSTR(批量验证)及Release(通过验证)。公司开发了多款ArF光刻胶在下游客户处验证，各款产品的验证进度不一。