来源 :深交所互动易2023-05-30
小土怪问南大光电(300346)请问老师，能不能讲述一下光刻胶验证的四个阶段，目前28nm光刻胶进入哪个阶段了？
2023-05-29 23:42:31
南大光电答小土怪
"谢您的关注！通常，光刻胶验证根据验证阶段分为 PRS（光刻胶性能测试）、STR（小试）、MSTR（批量验证）及 Release（通过验证）。公司开发了多款ArF光刻胶在下游客户处验证，各款产品的验证进度不一。
2023-05-30 20:28:19