来源 :深交所互动易2023-05-12
小土怪问南大光电(300346)请问贵司用于贵司的电子特气最高能用于多少nm的芯片制造？
2023-05-11 00:51:22
南大光电答小土怪
感谢您的关注！公司电子特气产品中，高纯磷烷、砷烷主要用于集成电路制造的掺杂工艺和LED的化学气相沉积工艺，是半导体生产的关键材料之一；三氟化氮是集成电路制造领域优良的等离子蚀刻和清洗材料，可用于先进制程芯片制造。
2023-05-12 15:05:57