来源 :深交所互动易2023-04-21
小土怪问南大光电(300346)请问老师，贵司目前光刻胶是否可以用于28nm芯片制造？没有缺陷检测分析仪器的情况下
2023-04-20 16:09:17
南大光电答小土怪
感谢您的关注！公司正在认证的ArF光刻胶可以应用于90nm~28nm工艺节点。缺陷检测设备的暂时性缺失对现阶段的产品验证工作不会产生重大影响。
2023-04-21 16:30:28