来源 :深交所互动易2023-04-04
cninfo771769问南大光电(300346)董秘您好，麻烦问下，咱南大光电产品系中，除了光刻外，在芯片的清洁、沉积、蚀刻等，还有对应的产品吗，谢谢
2023-03-31 17:03:37
南大光电答cninfo771769
感谢您的关注！公司氟类电子特气如三氟化氮主要用于芯片制造中的腔体清洗、蚀刻工艺。
2023-04-04 16:39:32