来源 :深交所互动易2023-03-24
小土怪问南大光电(300346)请问公司的电子特气最高可以用于多少纳米的芯片制造？
2023-03-23 18:52:07
南大光电答小土怪
感谢您的关注！公司电子特气主要用于半导体器件制造中的掺杂、离子注入、刻蚀清洗等工艺。
2023-03-24 15:35:27