来源 :深交所互动易2023-03-21
irm29057444问南大光电(300346)董秘您好，请介绍下公司在研项目第三代安全源产品
2023-03-20 23:33:23
南大光电答irm29057444
感谢您的关注！第三代安全源产品主要赋予安全源产品高压储存、负压输出的功能，解决半导体晶圆制作厂商使用安全源时出现的气体输出压力连续周期性振荡及载气密度不稳定的问题。
2023-03-21 15:15:39