来源 :深交所互动易2023-03-21
小土怪问南大光电(300346)请问老师，现目前贵司光刻胶验证转成客户自验或者外部机构验证，从理论上讲是可以提升一个档次，用于14nm验证了。在国内先进制程芯片代工企业，缺陷检测分析仪器是不缺的，请问贵司现目前有没打算在14nm制程去验证呢？
2023-03-18 21:58:32
南大光电答小土怪
感谢您的关注！公司ArF光刻胶目前主要集中在90nm-28nm制程工艺的验证，产品质检主要依靠公司购置的光刻机及其他辅助检测设备。
2023-03-21 15:16:33