来源 :深交所互动易2023-03-14
cninfo808359问南大光电(300346)请问董秘：公司ArF光刻胶已建成的年产25吨生产线，此款光刻胶可以达到多少纳米？谢谢！
2023-03-13 21:37:03
南大光电答cninfo808359
感谢您的关注！公司正在研发和产业化的ArF光刻胶可以应用于90nm~28nm的制程工艺。
2023-03-14 16:29:10