来源 :深交所互动易2023-02-03
cninfo1085488问南大光电(300346)你好，董秘！11月18日，你回复说“缺陷检测设备尚未完成采购”，12月2日，你回复说“缺陷检测设备主要针对28nm以下，而公司的ArF胶聚焦28-90nm，检测设备如光刻机已正常投入使用”请问，目前正常使用的光刻机是什么时候采购的？缺陷检测设备既不是目前主要攻关课题，为何要抓紧采购？
2023-02-01 09:37:53
南大光电答cninfo1085488
感谢您的关注！光刻机于2020年上半年采购进厂。缺陷检测设备对28nm以下制程芯片用光刻胶的检测有重要作用。
2023-02-03 16:40:17